テストビークル
(大きな意味で “試験機” ではあるが必ずしも車輛ではないし機体でもない)
ASCII.jp：半導体プロセスまるわかり インテルの14nmが遅れる理由 (1/3)
Test Vehicleというのは、そのウェハーを検証するために用意する、プラットフォームとでも言えばいいだろうか。要するにテスト用の環境である
https://www.hitachi-chem.co.jp/japanese/report/059/59.pdf
【ECTC】TSMC、28nm世代チップを用いた2.5次元LSI技術「CoWoS」の信頼性評価結果を示す | 日経クロステック（xTECH）
今回はCoWoSの信頼性を評価するため、Siインターポーザ（26mm×24mm）の上に、28nm世代の論理チップ（24mm×14mm）を1枚、40nm世代のチップ（12mm×7mm）を2枚搭載したテスト・ビークルを試作した。
SEMICON Japan Virtual 出展結果レポート ： 昭和電工マテリアルズ株式会社
この試作ラインで製造されたテストビークルを評価・分析し、材料の性能や信頼性を多面的に検証しています。
http://aset.la.coocan.jp/kenkyu/sanjigen_3.pdf
