半導体製造装置用語辞典, p.68 カソード 電子銃の構成要素の一つで，電子を放射する電極。(略～) エミッタ カソードと同義語。通常，電界放射型又は熱電界放射型電子銃の陰極を指す。

半導体製造装置用語辞典, p.192 アークチャンバ アーク放電を利用したイオン源のプラズマ生成室。(略～)

半導体製造装置用語辞典, pp.192-193 イオン源、イオンソース イオン注入に用いる核種元素のプラズマを生成する部分。(略～) イオンビーム 無秩序状態のイオンを制御して得られる方向性の整ったイオンの流れ。(略～)