http://www.mssj.jp/publications/pdf/MS_Terms_2009.pdf reference ion 参照イオン: 構造が正確にわかっている安定イオン (stable ion)．通常は構造既知の分子をイオン化して直接生成する．未知のイオンの構造と比較検証するために使用される．

半導体製造装置用語辞典, p.203 分析スリット 分析マグネットの焦点に位置し，必要とするイオン種を選択するためのスリット。スリットの大きさは質量分析における分解能を決定する重要な要素となる。

/áɪsətòup/ 高校化学基礎をひとつひとつわかりやすく。 パワーアップ版 (高校ひとつひとつわかりやすく), p.28 原子番号が同じで質量数が異なる原子どうしを「互いに同位体(アイソトープ)である」といいます。 同位体どうしでは，原子核中の陽子の数が同じ…

半導体製造装置用語辞典, p.70 二次電子 電子が固体表面や気体分子に照射された際に，その物質を構成する原子の電子と相互作用の結果，新たに放出される低エネルギーの電子。

ソースマグネット | イオン注入装置用語（応用） | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社 ソースマグネット イオン源のアークチャンバ部分に対して、磁場を導入するための磁石をいう。 アークチャンバ内でアーク放電が起こる際、発生した電…