半導体製造装置用語辞典 p.196 キャリアガス 固体蒸発源でアークを安定に発生させるために用いられるガス。多くの場合キャリアガスでアークを発生させた後，固体蒸発源の温度を上げることにより目的とするイオン種をアークチャンバに導入する。一旦目的とす…

https://www.jstage.jst.go.jp/article/jspf1958/67/5/67_5_399/_pdf ビームレット ビーム引き出し孔を通して引き出される個々のビーム単位を「ビームレット」と呼び, イオン源全体から引き出されるビームレットの集合体である「ビーム」と区別している.