半導体製造装置用語辞典 オリエンテーションフラット オリフラ (～略)位置合わせを容易にするためインゴットよびウェーハの外周に設けられたフラットな面。(略～) ノッチ (～略)整列を容易にするためインゴットおよびウェーハの外周に設けられた切りかき。

半導体製造装置用語辞典 静電スキャン ウェーハにイオン注入を行うためにイオンビームを走査する方法で，荷電粒子が電界から受ける力を用いてイオンビームを偏向する方式。(略～) 半導体真空技術 (ポイント解説), p.207 インプラの打ち込みでは均一性を確保…

半導体製造装置用語辞典 ローダ ワークを所定の位置に載置，又は装填する機構。 アンローダ ワークを所定の位置から取り出す機構。