よくわかる真空技術 (入門ビジュアル・テクノロジー), p.68 表面分析には、表面の原子・分子に与える刺激(プローブ)と計測する荷電粒子の組み合わせによって、何十種類もの手法があります。 たとえばプローブとして電子をぶつけて電子を検出するのがSEMやAES…