半導体製造装置用語辞典, p.203 分析マグネット イオンビーム中に含まれる種々のイオンから,必要とするイオン種のみを取り出すための電磁石。(略~)
引用をストックしました
引用するにはまずログインしてください
引用をストックできませんでした。再度お試しください
限定公開記事のため引用できません。