よくわかる真空技術 (入門ビジュアル・テクノロジー) p.86 クライオポンプは、ポンプ内の冷却した面に気体を凝縮させてためこみます。 p.91 気体分子を、冷凍機で冷却させた極低温面(20K以下)に凝縮・吸着させて捕捉して排気します

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精密位置決め・送り系設計のための制御工学 - 松原厚 - Google ブックス