機器分析技術用語辞典, p.180 ファラデーカップコレクターイオンビームの総量を測定するためのカップ状の電極．

粒子変位、 ～偏位

/エアボン/ /マれキュら/ AMCプロセスモニタリング装置 – 株式会社アークステーション半導体プロセスエンジニアにとって、クリティカルな空気中分子汚染（AMC）の監視は、欠陥(Defect)や編位ママ(Excursion)を回避し、サイクルタイムを改善し、最終的には歩…