2021-10-20から1日間の記事一覧

plasma、プラズマ

トコトンやさしい薄膜の本 (B&Tブックス―今日からモノ知りシリーズ), p.68 正電気を帯びた粒子(イオン)と負電気を帯びた粒子(電子)がほぼ同密度で分布し、電気的中性を保っている粒子集団

magnetron、マグネトロン

半導体製造装置用語辞典, p.240 空洞共振器として働く円筒状の陽極と,その中心軸上に設けられた細い陰極とにより構成され,陽極中心軸方向の静磁場と作用空間内の電子との相互作用によりマイクロ波を発振する真空管。