2021-10-21から1日間の記事一覧

flush / フラッシング、脱ガス

https://www.smc.com.cn/upfiles/pl/M-03-3C-17.pdf配管の際は不活性ガスによるフラッシング、洗浄等を行ってから製品を接続してください。製品取外しの前に、バルブを全開とした状態で、窒素などの不活性ガスで十分パージを行い、残留ガスを完全に排出して …

dose cup、ドーズカップ

2013-089409号 イオン注入装置及びイオン注入方法 - astamuse, 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 一方、ウエハ17に近い上流側であってウエハ17から外れたイオンビームの走査範囲内にはイオン注入中のビーム電流を計測するサイドファラデーカップ4…