2018-506136号 垂直ビーム角度デバイスを有するイオン注入システムにおける垂直ビームプロファイルの測定方法 - astamuse, アクセリステクノロジーズ，インコーポレイテッド 上記言及されたＯｐｔｉｍａ ＸＥシステムは、例えば、一般的に、垂直ビーム角度（…

水平ビーム角度 垂直ビーム角度

半導体製造装置用語辞典, p.195 エンドステーションウェーハ搬送系，ロード，アンロード系，注入室等の総称。ウェーハディスクを機械走査するバッチ処理方式と，ウェーハをハンドリングしてプラテンで保持して注入を行う枚葉処理方式とがある。

https://sst.semiconductor-digest.com/2013/10/how-to-verify-incident-implant-angles-on-medium-current-implants/ The standard production test to determine if the angle of implant is accurate involves implanting 5 to 7 wafers tilted around a …

Programmable Multi Axis Controller https://www.fa.omron.co.jp/data_pdf/cat/pmac_series_sbce-093_2_2.pdf?id=3632 Programmable Multi Axis Controller（PMAC）はモーション制御に特化した多軸制御用精密コントローラです。世界最高レベル* のモーショ…

チラー（Chiller） : 日立ハイテクフィールディング チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造装置のほかにさまざまな種類の産業機器、計測機器、食品加工…