/plǽtn/ 半導体製造装置用語辞典, p.231 プラテン交換のために搬送されてきたレチクルを保持し光学系の定められた位置へセットする保持具。 プラテン | イオン注入装置用語（応用） | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社 枚葉式のイオン…

/ウェイふァ/ 半導体製造装置用語辞典, p.155 ダミーウェーハ装置の稼働テスト，バッチ処理時のウェーハ枚数合わせ，ローディング効果対策などに使用される，実際のICパターン形成がされていないウェーハ。 ダミーウェハ | 株式会社エレクトロニクスエンドマ…

http://patentlib.net/mnt/exHDD_4TB/A/2020155001/2020155701/2020155711/2020155712.html, 東京エレクトロン このため、載置台３１等を貫通するように、ウエハＷの裏面にヘリウムガス等の熱伝達用ガス（バックサイドガス）を供給するためのガス供給管が設…

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シリコンウェーハー｜シリコンウェーハーの製造/販売【ワカテック】 テストウェーハは、製品と一緒に流しモニタリングする為の、主にソフト面のチェック用に使用されるモニターウェーハと、装置の搬送チェック等、主にハード面のチェック用に使用されるダミ…

英語のあや p.6 (略)日本語では「～など」、「～ら」、「～や～」など、例示表現の使用頻度が英語よりも高いので、(略)。特に、「など」には「叙述を弱めやわらげる......場合には例示の気持ちはあまりない」(『大辞林』)ので、(略) 。 p.84 ご存じのとおり…

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