最小二乗法 / N 次函数近似 / Excel, [近似曲線の追加] -を再掲 Excel の場合は、まず散布図を描いてから、グラフ上のどれか要素または線を右クリックし、[近似曲線の追加]、[多項式近似] の順に選択し、[次数] ボックスで次数を指定すれば多項式近似曲線が…

半導体真空技術 (ポイント解説), p.12 ロードロックとは真空予備室のことで，大気中のガス分子やゴミ(半導体分野ではパーティクルと呼んでいます)，水蒸気などの汚染物質をプロセスチャバに入れないためのものです。 半導体製造装置用語辞典 load-lock chamb…