2021-12-02から1日間の記事一覧

depolarization

復極、脱分極、消極、減極 半導体基板の脱離方法及び静電チャック装置, セイコーエプソン これにより、吸着ステージ1とウエーハWとに生じていた 分極は解消され、静電力が弱まる。次に、ESC電圧を0Vに戻す(t=9〜10秒)。 http://www.conceptsen…

profiler cup

プロファイラーカップ ビーム電流の強弱測定を行う。

microwave PEF、plasma electron flood

半導体製造装置用語辞典, p.203 プラズマフラッドガンplasma flood gunPFGエレクトロンフラッドガンと同様の目的のための正チャージの中和機構。プラズマを利用してウェーハ上に低エネルギーの電子のみを導くようにした。エレクトロンフラッドガンと比して,…

dose shift

https://www.shi.co.jp/tech/tech_report/pdf/178.pdf バッチタイプを採用することで、枚葉装置の欠点である高ダメージ,レジストアウトガスによるドーズシフトおよび角度コンタミ問題を避け,安定した注入を提供している。 http://www.jmf.or.jp/japanese/h…

dose

/ドウス/ 半導体製造装置用語辞典, p.200 dose ドーズ ドーズ量 試料に注入する,若しくは,注入された単位面積あたりのイオンの個数。 半導体がわかる英語, p.248 dopant dose 「不純物の量」。(略)注入される不純物原子の量のこと。そのまま「ドーズ」とし…

P-lens

parallelizing lens 平行化レンズ SHX-Ⅲ / HC 高電流イオン注入装置|製品情報|住友重機械イオンテクノロジー株式会社 高電流装置においてビームをスキャンし、しかも極低エネルギーで高いビーム電流を確保することは従来困難とされていましたが、新開発の…

beam glitching

2013-537688号 汎用ビームグリッチ検出システム - astamuse, アクセリステクノロジーズ,インコーポレイテッド ビームグリッチ

suppression

ファラデーカップ(Farady Cups) | 用語集 | 半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION(WEB展示会)による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET(セミネット) イオン注入装置は、注入イオンのビーム電流値を計測することにより定量的に不純物濃度…

extraction voltage、extraction electrodes

半導体製造装置用語辞典, p.202 extraction voltage 引出電圧 イオン源で生成されたイオンを取り出すために,イオン源と引出電極系との間に印加する電圧。(略~) extraction electrodes 引出電極系 アークチャンバスリットに対向し,イオン源で生成されたイ…

glitch

半導体製造装置用語辞典 グリッチ p.196 イオン注入中に,ソース部での放電などにより発生する短時間のビーム電流の急落で,面内均一性に悪影響を及ぼす現象。 p.337 グリッチ 一般には,信号に含まれる期待しないパルス状のノイズ。(略~)