2021-12-13から1日間の記事一覧

aligner

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ATM robot

/ǽtməsfɪ̀ər/ /róubɑ(ː)t|-bɔt/ atmosphere robot

LL

loadlock load lock

IVR

in-vacuum robot

backing pressure

背圧 真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.79 油拡散ポンプは正常に動作しているとき,背圧はいあつ(ポンプの排気口での圧力)側に衝撃波が生じて高い背圧と対抗しています.したがって,ある圧力までは背圧が変化しても高真空側に影響は出ないの…