半導体製造装置用語辞典 ロードポート 半導体製造装置においてカセットを投入，払出しをするために外部機器(AGV，OHT，PGVなど)とカセットの受渡しを行う装置部分。

SECS/HSMS/GEM/GEM300ソリューション: EQBrain | 横河電機 SECS とは SECS とは半導体製造装置とホストシステム(MES)との通信を規定する業界標準のプロトコルです。SEMI Standard にて規定が行われ、SECS-I(E4)・HSMS(E37)・SECS-II(E5)がその規格の対象とな…