dynamicはconfigurationにかかる。 Integration Technologies for Industrial Automated Systems (Industrial Information Technology Book 3) (English Edition) 非公式訳: 製造環境によっては、融通の利くデータレポート機能が必要になるが、それを実現す…

https://www.peergroup.com/expertise/resources/semi-standards/gem300/ The SEMI E87 (Carrier Management) standard describes in detail the material transfer scenarios for loading and unloading carriers (cassettes) full of substrates (wafers).…

■規格番号■タイトル■年号■巻号■ ―――――――――――――――――――――――――― ■SEMI E1-86■3インチ,100mm,125mm,150mmプラスチック及びメタルウエハキャリヤ■1993■2■製造装置 ■SEMI E1-86■3インチ,100mm,125mm,150mmプラスチック及びメタルウエハキャリヤ■1995■3■製造装置(ハ…