misc.

Pirani gauge

Piraniは人名 /ピラーニ/ ピラニ(ー)真空計、~ゲージ

NWクランプ

https://www.advantec-japan.co.jp/product/vacum/img/pdf/clamp_series.pdf

VAT

VAT株式会社 | 真空バルブのリーディングカンパニー VAT Vakuumventile A.G. は、1964年、創業者 Mr. S. Scheltlerによりスイスに真空バルブ専門メーカーとして設立されました。 現在では、ヨーロッパ、アメリカ、アジアなど世界各国で事業を展開しています…

Ultic

SMC-技術資料/技術用語 ULTIC ARMOR®(アルティックアーマー®) 日本バルカー工業(株)の登録商標です。 金属充填材を含まないフッ素系ゴム。耐プラズマ性・低放出ガス特性・耐熱性を付与したシール材質。

MKS

https://www.mksinst.com/mam/celum/celum_assets/resources/JPMKSProd.pdf

FOUP、front-opening unified pod、Front Opened Unified Pod

半導体製造装置用語辞典 (~略)ミニエンバイロンメント方式の半導体工場で使われる300 mmウェーハ用の搬送,保管を目的としたキャリアであり,正面開口式カセット一体型搬送,保管箱である。 図解入門 よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み[第4版] (How-n…

I-beam (アイ~)

I 形鋼, I 形ビーム 《切断面が I 字型の梁(はり)》 英和・和英 機械用語図解辞典, p.288 Iビーム I型鋼をはりとして用いる場合の名称.

end effector

産業用ロボットの種類と構造 | 産業用ロボット | 製品・ソリューション | 安川電機 ツール(エンドエフェクタ) 産業用ロボットの手首に取り付けられるハンドや溶接トーチ、スポットガンなどを総称してツール(エンドエフェクタ)と呼びます。ツール(エンド…

TC、thermocouple

熱電対

teach ~、ティーチ何とか、教示何とか

ティーチングで覚えさせた何か 溶接ロボットの制御 | 溶接の自動化 | 溶接革命 | キーエンス ロボットに溶接の動作を教える作業を「ティーチング」といい、ロボットの導入には欠かせない工程です。ティーチングには、ロボットを動かしてロボットに動作を記憶…

Equalization Valve

https://www.ateq.co.jp/techinfo/eiwa 均衡弁 均圧~ 平衡~ 圧力平衡~ 圧力平均~

KF

半導体真空技術 (ポイント解説), p.106 KFフィッティングはKFフランジ,クイックカップリングなどとも呼ばれ,配管中に多用されています。パーツとしては4個から成っていて,クランプ,フランジ,センタリングリングとO-Ringです。(略)

is clocked on

(PIC16F193X/LF193X、BAUDCON レジスタ、SCKP ビット) 原文: 1 = Data is clocked on rising edge of the clock 0 = Data is clocked on falling edge of the clock (http://ww1.microchip.com/downloads/en/DeviceDoc/41364C.pdf, p.226) 公式和文: 1 = デ…

最小二乗法 / N 次函数近似 / Excel, [近似曲線の追加] / 再掲

最小二乗法 / N 次函数近似 / Excel, [近似曲線の追加] -を再掲 Excel の場合は、まず散布図を描いてから、グラフ上のどれか要素または線を右クリックし、[近似曲線の追加]、[多項式近似] の順に選択し、[次数] ボックスで次数を指定すれば多項式近似曲線が…

loadlock

半導体真空技術 (ポイント解説), p.12 ロードロックとは真空予備室のことで,大気中のガス分子やゴミ(半導体分野ではパーティクルと呼んでいます),水蒸気などの汚染物質をプロセスチャバに入れないためのものです。 半導体製造装置用語辞典 load-lock chamb…

soak time

半導体製造装置用語辞典, p.155 ソークタイムアニール装置や真空蒸着装置の加熱対象物を蒸発しない温度で維持する時間。アニールでは所望の温度を維持する時間,真空蒸着法では予備加熱及び昇温脱ガス時間をいう。

Pyrometer、高温計、パイロメーター

/パイ(ァ)ラマタ/ ファウンテンパイロメーター | 研究開発事例 | 技術開発 | 日本製鉄 パイロメーター:パイロ(pyro)は”火”を意味する接頭語。パイロメーターは熱放射を感知して測定する非接触式の表面温度測定装置のこと。

Purion M

Purion M | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ | 半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION(WEB展示会)による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET(セミネット) 中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)Purion Mは、今…

SiC、シリコンカーバイド

SiC半導体 | SiCパワーデバイスとは? | エレクトロニクス豆知識 | ローム株式会社 - ROHM Semiconductor SiC(シリコンカーバイド)はシリコン (Si) と炭素 (C) で構成される化合物半導体材料です。

RT、r.t.、R.T.

room temperature ???

Turbotherm

詳細不明 https://www.iit2018.org/content/dam/iisb/iit2018/documents/abstbook_iit2018.pdf PurionH Turbotherm: High temperature implant option designed for precision and throughputWe introduce a high temperature implant option designed for t…

needle valve、ニードルバルブ

バルブの種類と選び方 【通販モノタロウ】 ニードルバルブバルブのハンドルを回すことで弁が垂直方向に上下し、流体をコントロールします。ゲートバルブと同じ遮断方法ですが、ニードルバルブは流量の調節が可能です。

platen、プラテン

/plǽtn/ 半導体製造装置用語辞典, p.231 プラテン交換のために搬送されてきたレチクルを保持し光学系の定められた位置へセットする保持具。 プラテン | イオン注入装置用語(応用) | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社 枚葉式のイオン…

dummy wafer、ダミーウェーハ

/ウェイふァ/ 半導体製造装置用語辞典, p.155 ダミーウェーハ装置の稼働テスト,バッチ処理時のウェーハ枚数合わせ,ローディング効果対策などに使用される,実際のICパターン形成がされていないウェーハ。 ダミーウェハ | 株式会社エレクトロニクスエンドマ…

BSG (back side gas)

http://patentlib.net/mnt/exHDD_4TB/A/2020155001/2020155701/2020155711/2020155712.html, 東京エレクトロン このため、載置台31等を貫通するように、ウエハWの裏面にヘリウムガス等の熱伝達用ガス(バックサイドガス)を供給するためのガス供給管が設…

UESC

universal electrostatic chuck universal electrostatic clamp

monitor wafer

シリコンウェーハー|シリコンウェーハーの製造/販売【ワカテック】 テストウェーハは、製品と一緒に流しモニタリングする為の、主にソフト面のチェック用に使用されるモニターウェーハと、装置の搬送チェック等、主にハード面のチェック用に使用されるダミ…

and、or、open list、closed list

英語のあや p.6 (略)日本語では「~など」、「~ら」、「~や~」など、例示表現の使用頻度が英語よりも高いので、(略)。特に、「など」には「叙述を弱めやわらげる......場合には例示の気持ちはあまりない」(『大辞林』)ので、(略) 。 p.84 ご存じのとおり…

CDA

clean dry air クリーンドライエア

HVPS

high voltage power supply 高電圧電源