2020-06-03 ion source、ion beam misc. 半導体製造装置用語辞典, pp.192-193 イオン源、イオンソース イオン注入に用いる核種元素のプラズマを生成する部分。(略~) イオンビーム 無秩序状態のイオンを制御して得られる方向性の整ったイオンの流れ。(略~)