半導体製造装置用語辞典, p.202
extraction voltage
引出電圧
イオン源で生成されたイオンを取り出すために，イオン源と引出電極系との間に印加する電圧。(略～)
extraction electrodes
引出電極系
アークチャンバスリットに対向し，イオン源で生成されたイオンを引き出すための電極系。(略～)
半導体製造装置用語辞典, p.202
extraction voltage
引出電圧
イオン源で生成されたイオンを取り出すために，イオン源と引出電極系との間に印加する電圧。(略～)
extraction electrodes
引出電極系
アークチャンバスリットに対向し，イオン源で生成されたイオンを引き出すための電極系。(略～)