加速管 | イオン注入装置用語（基本） | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社
加速管 / acceleration tube, acceleration column
注入を行うイオンにエネルギー（速度）を与えるためには、「加速管」と呼ばれる電界（電場）をかけられたビーム輸送空間の中に、イオン源から引き出されたイオンを通す必要がある。半導体製造装置用語辞典, p.196
acceleration tube
加速管
加速方式により分析系の前又は後に設けられるイオンにエネルギーを与える管。絶縁物と電極から構成され，通常多段構造となっている。各電極には，加速電圧を分割して印加し，電極間に形成される電場によりイオンを加速する。
