ファイナルエナジーマグネット
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目的とするエネルギーだけのイオンビームを一定角度偏向するための磁石。原理は分析マグネットと同様であるが,これはエネルギーコンタミネーションを除去するために設けられる。
ファイナルエナジーマグネット | イオン注入装置用語(応用) | イオン注入ディクショナリー | 日新イオン機器株式会社
エネルギーコンタミネーションを除去することを主目的として設けられるマグネットをさす。 基本的には、分析マグネットと同じ原理によるが、加速管よりもビームライン下流側に設けることで、注入位置の前でエネルギーコンタミネーションを除去する目的で用いられ、構成・配置の面でも異なる。