loadlock

半導体真空技術 (ポイント解説), p.12

ロードロックとは真空予備室のことで，大気中のガス分子やゴミ(半導体分野ではパーティクルと呼んでいます)，水蒸気などの汚染物質をプロセスチャバに入れないためのものです。

半導体製造装置用語辞典

load-lock chamber
ロードロック室
真空予備室
処理室を大気中に開放しないでウェーハの取入れ，取出しを行うことを目的とした真空室。(略～)