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(～略)ミニエンバイロンメント方式の半導体工場で使われる300 mmウェーハ用の搬送，保管を目的としたキャリアであり，正面開口式カセット一体型搬送，保管箱である。
図解入門 よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み[第4版] (How-nual図解入門Visual Guide Book), p.49
Front Opened Unified Podの略で局所クリーン方式(ミニエンバイロメント方式ともいう)対応のウェーハポッド。ポッドの開閉が外部から可能になっている。
(～略)ミニエンバイロンメント方式の半導体工場で使われる300 mmウェーハ用の搬送，保管を目的としたキャリアであり，正面開口式カセット一体型搬送，保管箱である。
図解入門 よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み[第4版] (How-nual図解入門Visual Guide Book), p.49
Front Opened Unified Podの略で局所クリーン方式(ミニエンバイロメント方式ともいう)対応のウェーハポッド。ポッドの開閉が外部から可能になっている。