facility monitoring system、FMS -

/ふァスィらティ/

ファシリティモニタリングシステム

こうした清浄度とそのレベルの変化は、その中の微粒子濃度、粒径分布を計測することによってはじめて知ることができ、これらのデータに基づいて適切な処置と管理を行うことができます。これらの計測を行う装置として最も普及しているのが、パーティクルカウンタ（気中用、液中用、プロセス用）です。

最近では、いろいろなセンサの情報を含めて統合処理をを(ママ)行うファシリティモニタリングシステムや、清浄度多点監視システムの重要性が高まっています。