NEC: Press Release 2001/2/9-01
上記に加えウェハキャリアのみをクリーンな環境に保ちクリーンルーム全体の清浄度を抑える局所クリーン化技術の採用、クリーンルームの床下（サブファブ）を活用した生産設備の稠密レイアウトによるフロア利用効率化などにより、建設コストを５０％程度削減し、投資効率を向上。
https://home.komatsu/jp/company/tech-innovation/report/pdf/180330_04j.pdf
サブファブと呼ばれる階下スペースにプリパルスレーザー光とメインプラズマ加熱用の CO2 レーザーが配置され，クリーンルーム階に EUV 発生用のチャンバが配置されている．
http://semicon.jeita.or.jp/STRJ/ITRS/2007/11%202007_ITRS_FI_Japanese_v2.0.pdf
装置メーカは、ユースポイントで除害設備と装置の統合を着々と進めた。しかしながら、その結果、階下(Sub Fab.;装置およびファシリティ設備設置場所）での設備設置面積は著しく増大した。従って、早急な挑戦課題として、設置面積全体の増加なしで使用設備を階下(Sub Fab.)だけでなく階下(Sub Fab.) と階上(Fab.)の両方に組み入れる効率的なデザインを見出すことが必要である。
