サセプター

• 半導体がわかる英語, p.217

  susceptor
  「サセプタ」「保持板」。類語としてsusceptがありそうに思えるが，ない。susceptive「敏感な」「受けやすい」，susceptible「受け入れられる」があるが，どうもうまくsuceptorママには接がらない。強いていえばシリコンウエハを受け入れる板ということになろうか。

• コンパクト版 半導体用語辞典, p.207

  サセプタ
  susceptor
  ウェーハを高周波誘導やヒータなどで加熱するために，ウェーハを保持するものの総称．元々は，図に示すようなエピタキシャル反応装置などに用いられるものをさす．この場合，サセプタ材質はシリコンカーバイド(SiC)をコーティングしたカーボン(C)が用いられる．
  

• 半導体製造装置用語辞典, p.153

  susceptor
  サセプタ
  SiやGaAsなどの半導体ウェーハを搭載し加熱するために高周波誘導，ヒータ等によって加熱されるウェーハ保持体の総称。実用的に用いられている材質は，シリコンカーバイド(SiC)をコーティングしたカーボン(C)。

• 図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み[第3版], p.146, 149, 166, 173

  

• 〈入門ビジュアルテクノロジー〉最新 半導体のすべて, p.112

  

• 図解でわかる 半導体製造装置, p.72, 87, 97