ULPAフィルター
ウルパフィルター
カラー図解 クリーンルームがわかる本 (VISUAL ENGINEERING), p.15
また1980年には、日本において0.1 μm以上の粒子を99.999%以上除去できる超高性能フィルタが開発され、電子デバイス産業の進展に大きく寄与することとなりました。このフィルタは1985年ごろから「ULPAフィルタ」と呼ばれるようになりました。ちなみにULPAフィルタはUltra Low Penetration Airフィルタの略で、通称は「ウルパ・フィルタ」です。
