クリーンルーム入門―初心者のための, p.37
クリーンルームの粒子数の測定に最も多く用いられる測定器である。測定原理は、サンプリング空気を細かい線状に流し、側方からレーザを照射して、個々の粒子にぶつかったとき生じる散乱光の強度により粒子の大きさを計測し、散乱光の数から粒子の個数を計数するものである。(略)
(略)測定は、クリーンルーム内の空気、あるいはフィルタリーク測定ではフィルタ出口の空気を吸引できるように、測定器にサンプリングチューブを接続して測定を行う。クリーンルームの粒子数は1フィート角の立方体中の粒子数で表すことが多かったことから、レーザパーティクルカウンタのサンプリング流量としては、1cf/min (1分間に1立方フィート)吸引できるものを用いることが多い。
