AMC、Airborne Molecular Contamination

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• AMCプロセスモニタリング装置 – 株式会社アークステーション

  半導体プロセスエンジニアにとって、クリティカルな空気中分子汚染（AMC）の監視は、欠陥(Defect)や編位ママ(Excursion)を回避し、サイクルタイムを改善し、最終的には歩留まり管理を成功させるために不可欠な要素です。

• AirSentry®II Mobile AMC Detection System - Particle Measuring Systems

  AirSentry II Mobile AMC Detection Systemは、クリーンルーム内の気中分子状汚染物質(AMC：airborne molecular contamination)を常時測定する移動式システムです。

• ケミカル除去用フィルタ｜日本ドナルドソン株式会社

  パーティクルよりもはるかに小さい塩基性・酸性および有機ガスといった気中分子状汚染物質(Airborne Molecular Contamination／ＡＭＣ)の除去が可能なフィルタです。