静電クランプ、静電チャック
半導体製造装置用語辞典, pp.154-155
静電チャック
試料台の上に誘電層を設け,試料台とウェーハの間に電圧を印加し,両者の間に発生したクーロン力や,界面の小さなギャップに微少電流が流れ帯電分極して誘起されるジョンソン-ラーベック力によってウェーハを吸着する機構。ウェーハの保持及び温度制御のために、試料台,搬送系などに用いられる。静電チャック | ファインセラミックス | 商品情報 | TOTO
静電クランプ、静電チャック
半導体製造装置用語辞典, pp.154-155
静電チャック
試料台の上に誘電層を設け,試料台とウェーハの間に電圧を印加し,両者の間に発生したクーロン力や,界面の小さなギャップに微少電流が流れ帯電分極して誘起されるジョンソン-ラーベック力によってウェーハを吸着する機構。ウェーハの保持及び温度制御のために、試料台,搬送系などに用いられる。
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