ccm
cc (cm3)/min、1分間あたりに 何ccという形式で流量を表示します。 通常は、1気圧 で sccm と同じに扱われることもありますが、室温付近で定義される場合もあります。
sccm
standard cc/min、1atm (大気圧 1013 hPa)、 0℃あるいは 25℃など一定温度で規格化された ccmです。 温度は0℃ が多いのですが、メーカーによって定義が異なる場合があります。 精密な数値が必要な場合は各メーカーに御相談ください。
ccm
cc (cm3)/min、1分間あたりに 何ccという形式で流量を表示します。 通常は、1気圧 で sccm と同じに扱われることもありますが、室温付近で定義される場合もあります。
sccm
standard cc/min、1atm (大気圧 1013 hPa)、 0℃あるいは 25℃など一定温度で規格化された ccmです。 温度は0℃ が多いのですが、メーカーによって定義が異なる場合があります。 精密な数値が必要な場合は各メーカーに御相談ください。