flush / フラッシング、脱ガス

• https://www.smc.com.cn/upfiles/pl/M-03-3C-17.pdf

  配管の際は不活性ガスによるフラッシング、洗浄等を行ってから製品を接続してください。
  
  製品取外しの前に、バルブを全開とした状態で、窒素などの不活性ガスで十分パージを行い、残留ガスを完全に排出して ください。

• 半導体真空技術 (ポイント解説), p.96

  長く使用すると内壁やグリッド，イオンコレクタに分子が吸着してくるので，脱ガス(フラッシング)を行います。