イオンビームのスキャン

参考: 図解入門 よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み[第4版] (How-nual図解入門Visual Guide Book), pp.76-77

• ウェーハを動かさずにビームをスキャンする。ラスタースキャンなど。昔のブラウン管テレビと同じ。

または

• ビームを動かさずにウェーハをスキャンする。

または

• ビームを一定方向にスキャンしつつ、ビームに直交する形でウェーハもスキャンする。ハイブリッドスキャン。