high voltage terminal

• 半導体製造装置用語辞典, p.197

  高電圧ターミナル
  
  イオンエネルギーを高めるため，接地電位より加速電圧が印加されるターミナル。後段加速方式を採るイオン注入装置においては，ガス導入系，イオン源及び質量分析系が収められている。