角度エネルギーフィルター ？？？
米Axcelis，300mm対応の中電流イオン打ち込み装置を発売 | 日経クロステック（xTECH）
米Axcelis Technologies, Inc.は，300mmウエーハ対応の中電流イオン打ち込み装置「MC3」を発売する。この製品は，住友イートンノバとの共同開発であり，すでに複数の日本メーカーに出荷しているとする。
この製品の特徴は，すでに量産実績のある「8250HT」の設計を踏襲することで，300mmへの移行に伴うリスクを最小限にとどめている点にある。対応できるエネルギー範囲は5k～750keV。同社が特許を持つ「Angular Energy Filiter」技術を使い，イオン・ビームの純度を高めている。0.25～0.1μmの設計ルールに対応できるとする。
