magnetron、マグネトロン

半導体製造装置用語辞典, p.240

空洞共振器として働く円筒状の陽極と，その中心軸上に設けられた細い陰極とにより構成され，陽極中心軸方向の静磁場と作用空間内の電子との相互作用によりマイクロ波を発振する真空管。