end station、エンドステーション

半導体製造装置用語辞典, p.195

エンドステーション
ウェーハ搬送系，ロード，アンロード系，注入室等の総称。ウェーハディスクを機械走査するバッチ処理方式と，ウェーハをハンドリングしてプラテンで保持して注入を行う枚葉処理方式とがある。