dummy wafer、ダミーウェーハ

/ウェイふァ/

• 半導体製造装置用語辞典, p.155

  ダミーウェーハ
  装置の稼働テスト，バッチ処理時のウェーハ枚数合わせ，ローディング効果対策などに使用される，実際のICパターン形成がされていないウェーハ。

• ダミーウェハ | 株式会社エレクトロニクスエンドマテリアルズコーポレーション

  ダミーウェハ(テストウェハとも言われる)とは、通常の製品用ウェハとは違い、おもに実験や検査用に使用されるウェハのことを指します。
  そのため、ダミーウェハ(テストウェハ)には再生ウェハも多く使用されています。