ISO 21501-4

https://nitta-monitoring.com/wp-content/themes/nit/pdf/CCSA20A2103NK01.pdf

(略) Part 4 (略)は,クリーンルームで使用されるハンディタイプ,ポータブルタイプ,リモートタイプの気中粒子計数器(パーティクルカウンタ)に適用される.(略) ISO 21501-4の目的は,「パーティクルカウンタによる測定結果の不正確さや,器差による測定結果の違いを最小限に抑えるために,パーティクルカウンタの校正手順と検証方法を提供すること」である.ISO 21501-4は,パーティクルカウンタの最低性能基準を設定し,性能の校正と検証のための方法を定義している.(略)