熱電対による真空ゲージ

misc.

  • 半導体真空技術 (ポイント解説)

    pp.81-82
    TC (サーモカップルゲージ)は中真空用で，(略)熱伝導を使って間接的に真空度を測るもの(略)

    pp.86-87
    サーモカップルゲージ(TCゲージ)は熱伝ママ対(サーモカップル)を使ったものです。(略)低真空状態でガス分子が多数存在している場合には(略)温度は上がりません。(略)真空度が上がってくると(略)温度は上がります。サーモカップルの起電力も大きくなります。サーモカップルの起電力，あるいは電流をモニタすれば，間接的に真空度が測定できます。

  • よくわかる真空技術 (入門ビジュアル・テクノロジー), p.92

    気体の輸送現象に基づく真空計には、ピラニ真空計、熱電対真空計、サーミスタ真空計、スピニングロータ真空計などがあり、これらは気体分子によるエネルギーの授受を測定しています。

  • https://atecorp.com/atecorp/media/pdfs/data-sheets/Edwards_300E_Manual.pdf

    The Thermocouple gauge is calibrated at 64 mV for 1 atmosphere and 3500 mV for the lowest vacuum setting.
    1気圧のとき64 mV、最低真空設定のとき3500 mVで較正

    As the backing pressure (measured by the thermocouple gauge, P2 on the schematic diagram Figure 4.1) falls below 2 x 10 -1 mbar, the diffusion pump switches on (if the pressure should rise above 3.5 x 10 -1 mbar, the diffusion pump will switch off).
    図4.1の接続図にあるサーモカップルゲージゲージP2で測定される背圧が～よりも下がると、～

    If pressure in the backing line as measured by the thermocouple gauge head P2 rises, the roughing valve will be closed to enable the system to be pumped out further by the rotary pump until a suitable pressure is reached.
    背圧ラインの圧力(サーモカップルゲージゲージヘッドP2で測定) が上がると、～

    The backing pressure has risen above 3.0 x 10 -1 mbar (measured by the thermocouple gauge P2).
    サーモカップルゲージゲージP2で測定される背圧が～よりも高くなると、～