クライオポンプの再生、regeneration

半導体真空技術 (ポイント解説), p.71

クライオポンプは溜め込み式のポンプと言われます。ゴミ箱のようなもので,溜め込める量には限度があります。クライオポンプ内部に吸着したガスを放出して空にすることを,再生またはリジェネレーション,または略してリジェネと言います。