IPAのグレード

電子工業用高純度薬品「IPA SE」| 特殊品部門 | Tokuyama IPA SEは電子工業用グレードのイソプロピルアルコール(IPA)です。プロピレンと水を直接反応させる独自の製法で製造するIPAから一貫生産することにより不純物を徹底的に低減し、99.99%以上の高純度…

best practice

https://news.yahoo.co.jp/articles/fa3b4c907c9f071b4b6a030087f58ed961ba3f58?page=2 私はそれまで湘南モノレールには実際に乗ったことがなかったので、お話があってからすぐに乗りに行きました。 すると、乗り物としての面白さがあることがわかりました。…

Vitreous Graphite Impregnated、VGI

関連技術 | IBIDEN Fine Graphite Material GC高含浸品(VGI)は、等方性黒鉛基材の表面及び内部にガラス状炭素を含浸させたことを特長とする黒鉛材料です。通常の黒鉛材料と比較して、黒鉛粉の発生制御や耐磨耗性向上など多くの特徴を付加した黒鉛製品です…

GeF4、SbF3、SbF5

GeF4 四フッ化ゲルマニウム SbF3 三フッ化アンチモン SbF5 五フッ化アンチモン

evacuate the MFC、run the gas

https://www.brooksinstrument.com/en/~/media/brooks/documentation/products/mass-flow-controllers/high%20temperature%20applications/9861/mass-flow-controller-installation-manual-9660-9861.pdf NOTE: If the MFC was recently purged or newly con…

FIRディジタルフィルターの実験 / 移動平均

参考: FIR Filter (VHDL) - Logic - Engineering and Component Solution Forum - TechForum │ Digi-Key 上の記事にあるFIRフィルターモジュールを使う。オーバーフローしないようにビット拡張をしてから定義どおりに積和演算をしているだけである。ただし乗…

熱電対による真空ゲージ

半導体真空技術 (ポイント解説) pp.81-82 TC (サーモカップルゲージ)は中真空用で,(略)熱伝導を使って間接的に真空度を測るもの(略) pp.86-87 サーモカップルゲージ(TCゲージ)は熱伝ママ対(サーモカップル)を使ったものです。(略)低真空状態でガス分子が多…

foreline

フォアライン 半導体真空技術 (ポイント解説), pp.13-14 プロセスチャンバの多くはターボ分子ポンプにて排気されます。ターボ分子ポンプは大気から排気できないので,チャンバには排気用のバイパスが付けられています。それをフォアラインと言います。はじめ…

FIRフィルター係数の計算 / array(0 to TAPS - 1)(COEFF_WIDTH - 1 downto 0)の形で出力する

import scipy.signal import numpy as np """ 構文: scipy.signal.firwin(numtaps, cutoff, width=None, window='hamming', pass_zero=True, scale=True, nyq=None, fs=None) pass_zero: True, False, 'bandpass', 'lowpass', 'highpass', 'bandstop' window…

PSL

メーカー名??? Power Standard Lab ??? Rouzbeh Rezvani, P.Eng. - Co7 Technologies % PowerSide company (merger of Power survey and Power Standard Lab)

Smoke transport time/pipe integrity test

https://xtralis.com/file/7504 14.2.3.1 Smoke transport time/pipe integrity test Introduce smoke in to the furthest sample hole in the pipe and time how long before the VESDA detector reacts to this smoke. A reaction is deemed to be an incr…

raw airflow、raw flow

https://web-material3.yokogawa.com/GS34P02P31-02E.pdf Flow rate, raw flow rate (uncorrected flow), mass flow rate(Coriolis only) energy, compressibility, compressibility at base condition, super compressibility, ideal relative density, ide…

VESDA

https://www.ndc-group.co.jp/products/vesda/ 超高感度煙検知システムVESDAは火災が拡大する前の微量の煙を検知し、設備の損傷、物的損害または業務の混乱を防止することをサポートします。 Very Early Smoke Detection Apparatus, VESDA, Air Sampling, UK …

the least favorable sampling point

(煙検知器の文脈で)いくつかある煙採取ポイントのなかでも、煙が煙検出器に届くまでに時間の最もかかる煙採取ポイントのこと。煙が煙検出器に届くまでの時間という観点で最も不利な~。 https://www.notifierfiresystems.co.uk/docs/notifierfiresystems/en/…

multi turn

マルチターン、多回転 アブソリュート方式(マルチターン)-製品情報 | 多摩川精機 アブソリュートエンコーダは、回転角度の絶対値を出力するエンコーダです。工作機械、ロボットにあるサーボモータの位置制御に使われます。

FIRフィルター係数の簡単な求めかた

参考: はじめてのDSP活用大全―開発環境の用意から事例研究まで (ディジタル信号処理シリーズ), pp.155-160 ここでは帯域幅という考えかたはなく、パラメーターはセンター周波数fcのみである。fc = 0にすればローパス、fc = fs/2にすればハイパスといった具合…

depolarization

復極、脱分極、消極、減極 半導体基板の脱離方法及び静電チャック装置, セイコーエプソン これにより、吸着ステージ1とウエーハWとに生じていた 分極は解消され、静電力が弱まる。次に、ESC電圧を0Vに戻す(t=9〜10秒)。 http://www.conceptsen…

profiler cup

プロファイラーカップ ビーム電流の強弱測定を行う。

microwave PEF、plasma electron flood

半導体製造装置用語辞典, p.203 プラズマフラッドガンplasma flood gunPFGエレクトロンフラッドガンと同様の目的のための正チャージの中和機構。プラズマを利用してウェーハ上に低エネルギーの電子のみを導くようにした。エレクトロンフラッドガンと比して,…

dose shift

https://www.shi.co.jp/tech/tech_report/pdf/178.pdf バッチタイプを採用することで、枚葉装置の欠点である高ダメージ,レジストアウトガスによるドーズシフトおよび角度コンタミ問題を避け,安定した注入を提供している。 http://www.jmf.or.jp/japanese/h…

dose

/ドウス/ 半導体製造装置用語辞典, p.200 dose ドーズ ドーズ量 試料に注入する,若しくは,注入された単位面積あたりのイオンの個数。 半導体がわかる英語, p.248 dopant dose 「不純物の量」。(略)注入される不純物原子の量のこと。そのまま「ドーズ」とし…

P-lens

parallelizing lens 平行化レンズ SHX-Ⅲ / HC 高電流イオン注入装置|製品情報|住友重機械イオンテクノロジー株式会社 高電流装置においてビームをスキャンし、しかも極低エネルギーで高いビーム電流を確保することは従来困難とされていましたが、新開発の…

beam glitching

2013-537688号 汎用ビームグリッチ検出システム - astamuse, アクセリステクノロジーズ,インコーポレイテッド ビームグリッチ

suppression

ファラデーカップ(Farady Cups) | 用語集 | 半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION(WEB展示会)による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET(セミネット) イオン注入装置は、注入イオンのビーム電流値を計測することにより定量的に不純物濃度…

extraction voltage、extraction electrodes

半導体製造装置用語辞典, p.202 extraction voltage 引出電圧 イオン源で生成されたイオンを取り出すために,イオン源と引出電極系との間に印加する電圧。(略~) extraction electrodes 引出電極系 アークチャンバスリットに対向し,イオン源で生成されたイ…

glitch

半導体製造装置用語辞典 グリッチ p.196 イオン注入中に,ソース部での放電などにより発生する短時間のビーム電流の急落で,面内均一性に悪影響を及ぼす現象。 p.337 グリッチ 一般には,信号に含まれる期待しないパルス状のノイズ。(略~)

hydroscopic、hygroscopic

hydroscopic hygroscopic Google: なんとか訳し分けようとしている。 DeepL: タイプミスであると正しく判定している。 みらい: タイプミスであると正しく判定している。 Bing: なんとか訳し分けようとしている。

FIRフィルター係数を求める / 窓函数法

Python scipy.signal.firwin()函数 scipy.signal.firwin — SciPy v1.7.1 Manual import scipy.signal """ 構文: scipy.signal.firwin(numtaps, cutoff, width=None, window='hamming', pass_zero=True, scale=True, nyq=None, fs=None) pass_zero: True, Fal…

クリーンルームのat rest

https://nitta-monitoring.com/wp-content/themes/nit/pdf/PICS_GMP_Annex_1_2017_approach.pdf https://nitta-monitoring.com/wp-content/themes/nit/pdf/PICS_GMP_Annex_1_2017_approach.pdf クリーンルームの状態を示す重要な用語として、"as-built" (建…

クリーンルームのAs built、At rest、operational

エアロゾル用語集, p.226 クリーンルームの状態は,施工完了時(As built),製造装置設置時(At rest),運転時(operational)に分けられる。