トランジスタ技術, 2017年9月号, p.120
coherent、コウヒァラントゥ
コヒーレントの物理的意味は，砕いて言うと「そろった」です。
レーザ光は，波長が単一で，かつ位相(電波で言う山と谷)がそろっているので，「コヒーレント光」ともいいます．正弦波もコヒーレントです．
結晶成長におけるコヒーレントという言葉も「そろった」という意味で使います．下地の結晶格子(たとえばシリコン)と，その上で成長する別の材料の結晶(たとえばGaN)は、下地の結晶格子に，成長速度を無理やり揃えさせられます．つまり，コヒーレントに成長が進みます．すると成長結晶(GaN)に大きな引っ張り応力が加わり，100 nmも積むと結晶の強度が耐えられなくなって，クラックや格子欠陥が多量に発生します．この限界が材料の組み合わせや成長温度できまる臨界膜厚です．〈大塚 康二〉
GaN: 窒化ガリウム、gallium nitride、ギャりアム ナイトゥライドゥ
