半導体製造装置用語辞典, p.155 ソークタイムアニール装置や真空蒸着装置の加熱対象物を蒸発しない温度で維持する時間。アニールでは所望の温度を維持する時間，真空蒸着法では予備加熱及び昇温脱ガス時間をいう。

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