2021-10-25から1日間の記事一覧

ferro-seal、ferroseal、Ferrofluidic seal、磁性流体シール、フェロシール

磁性流体シールとは - 理学メカトロニクス 磁性流体シールは、気体の漏れを防止するために用いられる部品であるシール(密封装置)の1つです。 磁性流体シールは、『磁性流体』という磁石に引き寄せられる不思議な液体が磁場中に保持される性質を利用して密…

ESC、electrostatic clamp、electrostatic chuck

静電クランプ、静電チャック 半導体製造装置用語辞典, pp.154-155 静電チャック試料台の上に誘電層を設け,試料台とウェーハの間に電圧を印加し,両者の間に発生したクーロン力や,界面の小さなギャップに微少電流が流れ帯電分極して誘起されるジョンソン-ラ…

ccm、sccm

流量の単位と換算ツール|アリオス株式会社 ccm cc (cm3)/min、1分間あたりに 何ccという形式で流量を表示します。 通常は、1気圧 で sccm と同じに扱われることもありますが、室温付近で定義される場合もあります。 sccm standard cc/min、1atm (大気圧 101…

Digi-Key TechForum掲載のSPIマスターモジュール / 非公式訳

参考: SPI Master (VHDL) - Logic - Engineering and Component Solution Forum - TechForum │ Digi-Key 上のリンクに紹介されているSPIマスターを試してみる。 非公式訳: SPIマスター 特徴 (略) スレーブの個数が指定できる。 データ幅が指定できる。 極性…