半導体真空技術 (ポイント解説) pp.81-82 TC (サーモカップルゲージ)は中真空用で，(略)熱伝導を使って間接的に真空度を測るもの(略) pp.86-87 サーモカップルゲージ(TCゲージ)は熱伝ママ対(サーモカップル)を使ったものです。(略)低真空状態でガス分子が多…

フォアライン 半導体真空技術 (ポイント解説), pp.13-14 プロセスチャンバの多くはターボ分子ポンプにて排気されます。ターボ分子ポンプは大気から排気できないので，チャンバには排気用のバイパスが付けられています。それをフォアラインと言います。はじめ…

import scipy.signal import numpy as np """ 構文: scipy.signal.firwin(numtaps, cutoff, width=None, window='hamming', pass_zero=True, scale=True, nyq=None, fs=None) pass_zero: True, False, 'bandpass', 'lowpass', 'highpass', 'bandstop' window…