foreline

フォアライン

半導体真空技術 (ポイント解説), pp.13-14

プロセスチャンバの多くはターボ分子ポンプにて排気されます。ターボ分子ポンプは大気から排気できないので，チャンバには排気用のバイパスが付けられています。それをフォアラインと言います。はじめにフォアラインを介してチャンバを排気し，真空度が上がったところでターボ遮断バルブを開けて一気に高真空にもっていきます。