/リ(ー)ジェナレイシャン/ 半導体真空技術 (ポイント解説), p.71 クライオポンプは溜め込み式のポンプと言われます。ゴミ箱のようなもので，溜め込める量には限度があります。クライオポンプ内部に吸着したガスを放出して空にすることを，再生またはリジェネ…

真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.105 真空排気後はガス放出量を低くするために，真空系全体を高温でベーキング(baking)を繰り返し，材料や部品の表面あるいは固体内に吸着・吸蔵されている水分や吸蔵ガスを強制的に追い出すための加熱脱ガス…

/ほんびき/ 真空のおはなし (おはなし科学・技術シリーズ), p.105 粗引きが完了したら，主ポンプを作動させて高真空状態になるまで排気を続けます．この操作を本引きといいます．